表面計(jì)量學(xué)簡(jiǎn)介
表面計(jì)量學(xué)簡(jiǎn)介本報(bào)告簡(jiǎn)要討論了幾種常用于評(píng)估表面形貌(也稱表面結(jié)構(gòu)或表面光潔度)的重要計(jì)量方法和標(biāo)準(zhǔn)定義。隨著納米技術(shù)、薄涂層以及電路和裝置小型化的出現(xiàn),表面計(jì)量學(xué)已經(jīng)成為一個(gè)極其重要的科學(xué)和工程領(lǐng)域。其從微米級(jí)和亞微米級(jí)特征的角度研究表面...